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如何解讀閉環壓電產品的線性度

更新時間: 2018-05-08

我們所有的閉環壓電產品在參數表中均會列出線性度值,芯明天壓電產品的線性度通常在滿行程的0.02%-0.1%之間,那么我們該如何理解線性度這個參數呢?

理想的情況下,輸入信號(決定壓電陶瓷位置的信號)與輸出信號(實現的位移)應該是線性的。

線性度描述的是實際的位置與理想位置的接近程度。

閉環壓電產品內置的傳感器線性度參數是非常重要的。芯明天壓電產品可選擇電阻應變計傳感器或者電容傳感器。

根據靈敏度計算理想位置

根據監測電壓,理想位置可以按照以下公式計算:

舉例:

 

結合線性度通過靈敏度計算的位置

前面已經闡述過,監測輸出電壓給出系統當前位置,通過靈敏度計算得到的位置會被非線性所改變。 

在閉環線性關系中,實際位置與理想位置之間的偏差即為非線性。基于監測電壓,為了得到壓電陶瓷實際的位置,非線性必須要被考慮進去。

舉例:

165nm的非線性使得239.396μm的位移將會被改變為239.561μm或239.231μm,我們通過以下方式確定傳感系統的線性度,用滿幅值三角波驅動控制壓電陶瓷,系統位置將會被內置的傳感器監測調整,外部采用激光干涉儀進行位置檢測。

下圖為芯明天P11.X壓電納米定位臺的線性度曲線圖。

 與位置有關的數據比如線性度、重復度、控制電壓等可在出廠檢測報告中給出。

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