壓電物鏡掃描器是專門為聚焦顯微而設(shè)計的，采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)設(shè)計，物鏡補償量小，具有超高聚焦穩(wěn)定性，物鏡掃描器裝入顯微檢測/測量或者觀測裝置可以帶動鏡片聚焦提高精度，可與多種高分辨率的顯微鏡配合使用。
壓電物鏡掃描器特點：
運動范圍100μm
定位精度達(dá)納米級
響應(yīng)速度可達(dá)毫秒級
直線運動無偏航
壓電物鏡掃描器應(yīng)用：
晶圓切割
生物顯微
白光干涉
原子力顯微鏡
差動聚焦檢測系統(tǒng)
顯微光學(xué)成像
壓電物鏡掃描器為小體積大行程壓電物鏡掃描器，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，閉環(huán)精度高，響應(yīng)速度快、滿行程線性度達(dá)納米量級，可進行激光聚焦，已廣泛應(yīng)用與晶圓切割、半導(dǎo)體及微電子加工領(lǐng)域。哈爾濱芯明天科技有限公司專業(yè)致力于壓電納米定位系統(tǒng)的研發(fā)生產(chǎn)與銷售。十余年的行業(yè)經(jīng)驗、專業(yè)的研發(fā)團隊、雄厚的研發(fā)實力、完善的管理體系、可靠的品質(zhì)保障為您提供的壓電納米定位技術(shù)解決方案！
