P77系列壓電式移相器
P77.D4 壓電式移相器為大口徑移相器，中心通孔孔徑分別為160mm，特殊的結構設計，與光學平面檢測儀相匹配。
特點
· 一維 Z 向運動
· 分辨率可達0.5nm
· 通孔尺寸為Ø160mm
· 行程范圍20μm
· 大承載10kg
承載能力
P77.D4 的承載能力高達10kg。
多點位移測量
出廠前，對多個點進行位移測量，保證運動的直線度。
步進曲線
開環曲線
技術參數
以上參數是采用E00/E01系列壓電控制器測得
17051647888
哈爾濱芯明天科技有限公司(www.ywjh.com.cn)主營：壓電促動器,壓電移相器,壓電快反鏡,快速刀具定位器
哈爾濱芯明天科技有限公司 版權所有 ICP備案號:黑ICP備16009173號-2 管理登陸 技術支持：儀表網 網站地圖
0451-86268790
