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XD-301系列大負載二維壓電偏轉鏡

更新時間: 2019-04-29

XD-301 壓電偏轉鏡是專為大負載及高動態應用而設計,它的偏轉角度可達2.8mrad,可承載Φ110×10mm鏡片(約245g)。0.2mrad 偏轉角度的響應時間為2ms,±0.1mrad 偏轉角度下的使用頻率可達250Hz。

 

產品特點

• θx, θy 二維偏轉

• 大偏轉角度2.8mrad

• 亞毫秒響應時間

• 閉環定位精度高

• 溫度穩定性高

產品應用

• 圖像處理/ 穩定

• 隔行掃描,抖動

• 激光掃描/ 光束偏轉與穩定

• 光學/掃描顯微

• 光過濾/ 開關

高可靠性及穩定性

XD-301系統內部裝配帶有預緊力的高可靠性壓電促動器,被集成在成熟的、經過FEA 建模分析的鉸鏈導向系統。壓電促動器為疊堆共燒型壓電陶瓷,可提供更好的穩定性及可靠性。

先進的鉸鏈/ 杠桿設計將慣性小化,具有非常快的響應速度,在毫秒級范圍。

XD-301還提供了亞微弧度的分辨率。內部集成高分辨率、全橋的應變傳感器(SGS)實現了的位置控制,具有優異的重復定位精度。

閉環定位精度

線性度為0.2%F.S.,重復度為0.1%F.S.。

 

閉環重復度

閉環重復度

 

開環曲線

開閉環曲線

 

閉環分辨率

閉環分辨率

 

技術參數

技術參數

 

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