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XD602三維壓電位移臺,200μm/軸行程!

更新時間: 2020-01-13

XD602系列壓電納米定位臺是XYZ三維運動壓電平臺,它的行程范圍為200μm/軸,四個角位分別留有安裝固定孔位,易于機構(gòu)安裝。負載安裝平臺留有10個M3固定位,適于不同結(jié)構(gòu)負載的安裝。它的外觀較薄,非常易于系統(tǒng)集成。

特點

•XYZ三維運動   •行程200μm/軸   •超薄體積   •可選閉環(huán)版本獲取更高精度

開環(huán)與閉環(huán)版本可選

XD602壓電位移臺可以選擇開環(huán)或閉環(huán)版本,閉環(huán)版本內(nèi)部配有高分辨率及快速響應(yīng)的應(yīng)變傳感器(SGS),配備在驅(qū)動機構(gòu)的合適位置,它可向控制器反饋高帶寬、高精度的電壓信號。傳感器使用全橋配置以消除熱漂移,使得該納米定位臺實現(xiàn)較高的線性度與重復(fù)度。

配套控制器

XD602系列壓電位移臺,可搭配芯明天E70系列壓電控制器使用,模擬與數(shù)字控制,體積小巧,高性能搭配。

技術(shù)參數(shù):

型號:XD602

運動方向:X/Y/Z

標稱行程范圍(0 ~120 V):160µm

行程范圍(0~150V):200µm

傳感器類型:SGS

開環(huán)分辨率:8nm

閉環(huán)線性度:0.2%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度:0.1%F.S.

空載諧振頻率:270Hz

加載100g負載諧振頻率:110Hz

50%行程空載使用頻率:20Hz

臺體材料:

工作溫度范圍:0~50 ℃

承載能力:300g

 

全國統(tǒng)一客服電話:

17051647888

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