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壓電陶瓷致動器的直線運動應用

更新時間: 2020-07-27

壓電陶瓷致動器做為相關應用技術時,通常要求運動幾納米或更的分辨率,亞毫米或微米級行程范圍的應用在線性運動中并不少見。為了說明這一點,下面是一些行業和應用的例子,在這些行業和應用中,壓電陶瓷致動器通常是優秀解決方案。

微升和納升分配

當需要分配微升或納升體積時,它需要精確的運動來控制分配,由壓電陶瓷致動器促動隔膜泵或閥門是一種常見的解決方案。通過給壓電陶瓷施加電壓,改變其位移的大小和速率,從而達到微升或納升分配的目的。壓電致動器的位移決定分配體積,致動器的工作頻率控制流量,壓電陶瓷致動器具有分辨率高、體積小易于集成、功耗低等優點。

微定位和納米定位

在顯微鏡、診斷和高精度制造應用中,通常需要納米級的分辨率。例如,導光板加工需要將加工刀頭定位在距離工件只有幾微米的距離,在高頻率和亞納米分辨率的范圍內進行加工運動。壓電陶瓷致動器是為數不多的能夠滿足這些要求的運動裝置之一,其高諧振頻率為控制回路提供了穩定性。

 

減震抑振

壓電堆疊致動器可以輸出幾千牛頓的力,可以用于精密工作臺或其他振動敏感設備的主動減振使其成為理想的減振裝置。例如,可以在機床中集成壓電陶瓷致動器,以在機床的控制回路中產生反向運動,減輕振動,從而提高加工精度和工件質量。

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