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精密掃描臺(tái)在精密定位領(lǐng)域中的應(yīng)用

更新時(shí)間: 2022-10-26
  精密掃描臺(tái)是以壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)源,結(jié)合柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸精密運(yùn)動(dòng)的壓電平臺(tái),壓電掃描臺(tái)中心具有通孔且體積小巧、無摩擦、分辨率高、響應(yīng)速度快,配置高精度傳感器,可以實(shí)現(xiàn)納米級(jí)分辨率及定位精度且具有可靠性。產(chǎn)品主要應(yīng)用于透光精密光學(xué)器件的定位與調(diào)整、生物顯微與光學(xué)顯微成像系統(tǒng)等。
 
  精密掃描臺(tái)由容性負(fù)載驅(qū)動(dòng),可產(chǎn)生毫秒級(jí)的響應(yīng)時(shí)間,響應(yīng)速度非常快,同時(shí)由于自身的材料特性,使其在使用過程中不受干擾,能夠?qū)崿F(xiàn)性能輸出。
 
  壓電納米定位臺(tái)是以壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)源,結(jié)合柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)X/Z/XY/XZ/XYZ軸精密運(yùn)動(dòng)的壓電平臺(tái)。運(yùn)動(dòng)范圍大可達(dá)375μm,具有體積小、無摩擦、響應(yīng)速度快等特點(diǎn),配置高精度傳感器,可以實(shí)現(xiàn)納米級(jí)分辨率及定位精度且具有可靠性,壓電納米定位臺(tái)在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。
 
  壓電納米運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu),柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有高的導(dǎo)向精度,具有高剛性、高負(fù)載、無磨損、免維護(hù)等特點(diǎn)。同時(shí)壓電效應(yīng)將電能直接轉(zhuǎn)換為運(yùn)動(dòng),在靜態(tài)操作時(shí),即使在負(fù)載情況下,也不會(huì)消耗功率。
 
  壓電掃描臺(tái)是以壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)源,壓電陶瓷是高精度致動(dòng)器,通過控制電壓的微小變化產(chǎn)生非常小的位移,可達(dá)到亞納米級(jí)。從適用于小型設(shè)備(如紅外熱成像)的小通孔壓電掃描臺(tái)到大型設(shè)備(如大口徑干涉儀)用的大通孔壓電掃描臺(tái),多種規(guī)格型號(hào)可選。
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