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新品推薦|ZT50N81K8壓電螺釘調平臺,適用晶圓調平!

更新時間: 2023-07-26
本次給大家介紹一款電動壓電螺釘調平臺——ZT50N81K8,它是專為三軸調平而設計,具有三個直線促動點,通過二維θx、θy 偏轉和 Z 向升降運動可對載物臺進行調節,主要的特點就是定位精度高,承載能力強,電動操作更便捷,因其高精度、可控性強、實用性高因而廣泛應用于科研、激光應用、工業自動化等領域


ZT50N81K8壓電螺釘調平臺臺面直徑160mm,直線行程可達3mm,θx、θy 偏轉角度為±1.5°,角分辨率可達0.3μrad,承載可達2kg,具有出色的長期穩定性,且能在斷電情況下繼續保持在設定位置,斷電自鎖。實物外觀如下圖所示。

圖片


產品特點


• 三維偏轉運動 
• 亞微弧度角分辨率 
• 斷電自鎖 
• 電動操作更靈活


產品應用

• 科學研究 
• 光學 
• 實驗室系統結構搭建 
• 三軸調平 
• 晶圓調平 
• 工業應用


技術參數

型號
ZT50N81K8
臺面直徑
160mm
運動自由度
θx、θy、Z
電動軸
3個
角度范圍
±1.5°
直線行程
3mm
直線運動方向
Z
角分辨率
0.3μrad
承載能力
2kg
促動器
壓電螺釘促動器
工作溫度
10~40℃
重量
1800g
壓電螺釘連接器
RJ11


半導體領域調平

ZT50N81K8壓電螺釘調平臺以其高精度、大行程及多維運動,使其非常適用于半導體領域的調平,例如晶圓調平等。


配套控制器

芯明天E53.C4K壓電控制器可用于驅動ZT50N81K8壓電螺釘調平臺,采用24VDC供電,4通道版本可使用切換方式驅動4支壓電螺釘,采用數字信號控制,與壓電螺釘間可通過網口連接,且體積小、易集成。



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