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新品推薦！芯明天閉環三維壓電螺釘運動平臺

更新時間： 2023-02-09

此次為大家帶來一款閉環式、三維運動、壓電螺釘驅動的壓電運動平臺。使用過壓電螺釘運動平臺的用戶都會了解，一般情況下，這種運動平臺都是開環的，沒有閉環伺服控制傳感器。但考慮到用戶在大行程運動控制下對高精度的要求，芯明天專門設計、研發了XYZ65N81E26壓電螺釘運動平臺，該平臺配備了增量式編碼器，對運動行程、精度等可進行精確控制，且精度可達1.5μm。


圖片
芯明天XYZ65N81E26壓電螺釘運動平臺

特  點


XYZ三維運動
配有閉環增量式編碼器
行程±12.5mm/軸
納米級分辨率
精度達1.5μm

運動原理


XYZ65N81E26壓電螺釘運動平臺是采用壓電螺釘驅動，壓電螺釘的運動是通過內部壓電陶瓷的微運動，驅動螺紋桿旋轉，從而沿著螺紋向前運動。螺紋桿的推動，使得載物移動平臺臺面的直線運動。

圖片

技術參數


產品設計的參數如下表所示。


型號
XYZ65N81E26
運動自由度
X
集成傳感器類型
增量式編碼器
標稱行程范圍
±12.5mm
速度
50μm/s
閉/開環分辨率
80nm
線性度
1.5μm
重復度
1.5μm
承載能力
1.5kg
工作溫度
0~50℃
質量（包含電纜）
2.61kg
材質
鋁、鋼
電纜長度
1.5m
推薦控制器
E53.D1E



產品實測數據


下方測試結果是在1.5kg負載、28.8℃溫度、31%濕度下測得。


運動軸
X
Y
Z
線性度
1.253μm
1.327μm
1.157μm
重復度
1.439μm
0.275μm
1.134μm
分辨率
80nm
80nm
80nm
運行速度
55.30μm/s
64.62μm/s
54.50μm/s



從測試結果中可看出，X、Y、Z三個方向的定位精度均可達到1.5μm以內。運動效果如下視頻所示。



注：視頻60倍率播放。



可定制參數、可定制真空版本


芯明天可根據用戶的參數要求定制壓電螺釘運動平臺，自由選擇一至三維運動版本，自由選配增量式編碼器。此外，可定制真空兼容版本，真空度可達10^-6mbar以上。
圖片

應  用


XYZ65N81E26壓電螺釘運動平臺是三維直線運動版本，因其大行程及高精度的特點，非常適用于半導體測試、晶圓檢測、納米壓印、納米計量、工業精密定位等領域。

配套控制器


XYZ65N81E26壓電螺釘運動平臺采用芯明天自研生產的E53.D1E壓電伺服控制器，可通過串口與上位機進行連接通信，通過上位機軟件，對壓電螺釘運動平臺進行運動的控制，可設置運動速度等參數。
圖片

其他壓電螺釘運動平臺


圖片

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