產品名稱：P66.X60一維X向壓電納米定位臺 60μm
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產品特點：P66.X60一維X向壓電納米定位臺 60μmP66.X60壓電納米定位臺以壓電陶瓷為驅動源并采用直驅式驅動機構的壓電位移平臺，是壓電與柔性鉸鏈相結合的納米定位系統，可達毫秒級響應、納米級定位精度，并可選配高精度傳感器進行閉環精密定位控制。該產品非常適于定位應用，如干涉中光路徑長度修正、顯微或掃描應用中的樣品定位等。
更新日期：2025-10-11
特性 P66.X60一維X向壓電納米定位臺 60μm
應用
• 光盤驅動測試 開閉環版本可選
傳感器使用全橋配置已消除熱漂移，使得該系列納米定位臺可以實現較高的線性度與重復度。
P66.X60一維X向壓電納米定位臺 60μm
型號 | 尾綴S-閉環 尾綴K-開環 | P66.X60S | P66.X60K | 單位 |
運動自由度 | X | X | ||
行程（0~120V） | 48 | 48 | μm±20% | |
行程（0~150V） | 48 | 48 | μm±20% | |
傳感器類型 | SGS | - | ||
閉/開環分辨率 | 2 | 0.8 | nm | |
閉環線性度 | 0.1 | - | %F.S. | |
閉環重復定位精度 | 0.05 | - | %F.S. | |
俯仰/偏航/滾動 | <20 | <20 | µrad | |
推/拉力 | 160/16 | 160/16 | N | |
運動方向剛度 | 2.8 | 2.8 | N/μm±20% | |
空載諧振頻率 | 1.3 | 1.3 | kHz±20% | |
閉/開環空載階躍時間 | 10 | 1.6 | ms±20% | |
閉環空載 工作頻率 | 10%行程 | 200 | 200 | Hz±20% |
行程 | 20 | 20 | ||
大承載 | 6 | 6 | kg | |
靜電容量 | 7.2 | 7.2 | μF±20% | |
材質 | 鋁 | 鋁 | ||
重量 | 190 | 190 | g±5% | |
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