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產品名稱:XYXYZ72壓電宏微復合平臺

產品型號:

產品報價:

產品特點:XYXYZ72壓電宏微復合平臺,采用壓電粘滑原理與壓電微動技術相結合的方式,滿足XY軸mm級大行程,并且實現Z軸nm級的高精度。

更新日期:2025-10-11

XYXYZ72壓電宏微復合平臺的詳細資料:

XYXYZ72壓電宏微復合平臺 產品特點

 XY宏動毫米行程,適于鏡頭等位置橫向調整

 Z向微動微米行程,適于光學聚焦調整

 Φ35mm中心通孔,適于透射光應用

技術參數

型號XY72N81K13 XYZ72SN81K13XYZ72KN81K13單位
運動自由度X YX Y ZX Y Z
XY 宏動行程±5±5±5mm
Z 微調行程-8@150V8@150Vμm
XY 最小位移增量<30<30<30nm
Z 分辨率-0.30.1nm
Z 微調傳感器-SGS-
Z 線性度-0.25-%F.S.
Z 重復定位精度-0.25-%F.S.
Z 空載諧振頻率-2.52.5kHz
承載能力1.5正立:500正立:500g
側放:200側放:200
中心通孔φ35φ35φ35mm
重量-695695g
壓電螺釘連接器RJ11RJ11RJ11

XYXYZ72壓電宏微復合平臺

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