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型號

尾綴S-閉環 尾綴K-開環

P11.X100S

P11.X100K

P11.Z100S

P11.Z100K

P11.XY100S

P11.XY100K

P11.XZ100S

P11.XZ100K

P11.XYZ100S

P11.XYZ100K

單位

運動自由度

X

Z

X、Y

X、Z

X、Y、Z

標稱行程范圍（0~120V）

80

80

80/軸

80/軸

80/軸

μm±20%

zui大行程范圍（-20~150V）

110

110

110/軸

110/軸

110/軸

μm±20%

傳感器類型

SGS/-

SGS/-

SGS/-

SGS/-

SGS/-

閉/開環分辨率

7/4

7/4

7/4

7/4

7/4

nm

閉環線性度

0.05/-

0.05/-

0.1/-

0.1/-

0.1/-

%F.S.

閉環重復定位精度

0.01/-

0.01/-

0.02/-

0.02/-

0.05/-

%F.S.

俯仰/偏航/滾動

<5

<5

<8

<8

<10

µrad

推/拉力

30/10

30/10

25/10

25/10

30/5

N

運動方向剛度

0.3

0.3

X0.25/Y0.3

X0.25/Z0.3

X0.25/Y0.3/Z0.2

N/μm±20%

空載諧振頻率

0.3

0.3

X0.2/Y0.3

X0.2/Z0.3

X0.2/Y0.3/Z0.18

kHz±20%

閉/開環空載階躍時間

10/0.8

10/0.8

15/0.8

15/0.8

20/0.8

ms±20%

閉環空載 工作頻率

10%行程

100

100

100

100

50

Hz±20%

行程

9

10

9

9

5

zui大承載

0.8

0.8

0.7

0.7

0.6

kg

靜電容量

1.8

1.8

1.8/軸

1.8/軸

1.8/軸

μF±20%

材質

鋼、鋁

鋼、鋁

鋼、鋁

鋼、鋁

鋼、鋁

重量

100

100

170

170

230

g±5%